本发明涉及高温合金热处理技术领域。具体涉及一种高温合金热处理防氧化装置及方法。该装置包括外层排气系统、内层排气系统、载物台和进气管道，外层排气系统为环形中空结构，内层排气系统为环形中空结构，内层排气系统与外层排气系统插装配合，内层排气系统的空腔与外层排气系统的空腔相通；外层排气系统的第一内环部分内侧下部设置中空的载物台，载物台的外侧与外层排气系统的空腔相连通，载物台的底部与进气管道一端相连通。本发明通过从不同角度向在热处理过程中的高温合金样品不断吹入惰性气体，减少样品同氧化环境接触，防止高温合金在高温热处理过程中发生氧化。本发明可用于高温合金等材料在大气环境下进行高温热处理时的氧化防护。