熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法

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摘要

本发明公开了一种熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，包括损伤点尺寸测量、飞秒激光改性、溶液腐蚀和残液清洗的步骤。采用以上技术方案的熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法，先利用飞秒激光改性装置对熔石英元件需要去除的部分勾勒轮廓改性，再利用化学溶剂进行去除，不仅能够快速地去除包含损伤点的熔石英块体，完成对损伤点的复合修复，具有高效稳定的特点，而且可以避免热应力的残留，不影响熔石英元件的阈值。

基本信息

专利标题：

熔石英元件的飞秒激光改性装置及其损伤点复合修复方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112608035A

申请号：

CN202011542250.X

公开（公告）日：

2021-04-06

申请日：

2020-12-23

授权号：

CN112608035B

授权日：

2022-06-07

发明人：

方振华陈静蒋晓龙王静轩廖威张传超张丽娟贾宝申蒋晓东栾晓雨

申请人：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请人地址：

四川省绵阳市游仙区绵山路64号

代理机构：

重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

蔡冬彦

优先权：

CN202011542250.X

主分类号：

C03C15/00

IPC分类号：

C03C15/00