本发明公开了一种浸没控制单元的扰动力测量装置，包括基座、模拟物镜机构、模拟衬底机构及力测量机构，模拟物镜机构包括模拟物镜和物镜连接件，模拟物镜通过物镜连接件与基座固定连接在一起；模拟衬底机构包括衬底和承载衬底的衬底台，衬底上方设依次浸没控制单元和力测量机构，力测量机构上端与基座相连接，力测量机构具有力测量器和位移调节结构，力测量器设于模拟物镜上方；浸没控制单元定位至环绕模拟物镜径向外侧以及位于衬底上方，且分别与模拟物镜和衬底保持间隙。有效测量评估浸没控制单元受到的来自浸没流场的扰动力，更好保证在浸没流场力扰动下的浸没控制单元的定位可靠，保证浸没流场的空间形状稳定性，保证扰动力测量的有效可靠性。