基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统

授权

摘要

本实用新型实施例公开了一种基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统，其包括飞秒激光器、泵浦耦合装置以及空芯光子晶体光纤；所述飞秒激光器用于生成具有飞秒脉冲的初始激光；所述泵浦耦合装置用于接收所述初始激光，并将所述初始激光耦合入所述空芯光子晶体光纤内；所述空芯光子晶体光纤用于对耦合进入其中的初始激光进行增益，以得到目标光束。本实用新型实施例通过产生稳定的、宽光谱的、高功率和高亮度的激光，且所生成的激光具有优异的单模光束质量和良好的方向性，以及可以与激光相媲美的亮度和空间相干性，可以满足集成电路制造工艺中缺陷特征尺寸越来越小以及高检测效率的要求。

基本信息

专利标题：

基于空芯光子晶体光纤的超连续谱激光光源及检测系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020003897.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-02

授权号：

CN211456205U

授权日：

2020-09-08

发明人：

赵晓杰欧志龙

申请人：

英诺激光科技股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市南山区科技园北区朗山二路8号清溢光电大楼305（办公场所）

代理机构：

深圳市精英专利事务所

代理人：

邓星文

优先权：

CN202020003897.4

主分类号：

H01S3/067

IPC分类号：

H01S3/067 H01S3/094 H01L21/66