一种KOH腐蚀实验设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种KOH腐蚀实验设备，包括框架组件，所述框架组件包括安装架，所述安装架的内部固定安装有透明防护箱，所述安装架的顶部固定连接有驱动组件，所述驱动组件包括驱动架，所述驱动架的底部与所述安装架的顶部之间固定连接，并且驱动架的顶部固定连接有提拉电机，所述安装架的顶部固定连接有控制箱，本实用新型涉及芯片生产技术领域。该KOH腐蚀实验设备通过增加旋转机构，让腐蚀液体流动，温度更均匀，解决了温场均匀性的问题；通过订制的镍篮，解决了KOH腐蚀效果不好问题；通过增加透明有机玻璃，既能对工艺过程方便观察，又对加热过程产生的废气进行限制，让其通过特定的管道排放，改善了易发生安全事故。
基本信息
专利标题 ：
一种KOH腐蚀实验设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020017428.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-06
授权号 ：
CN211347871U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
乔晓杰张海新
申请人 ：
山东晶升电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市历下区历山路49号1120室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020017428.8
主分类号 ：
G01N17/00
IPC分类号 ：
G01N17/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N17/00
测试材料的耐气候，耐腐蚀，或耐光照性能
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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