一种真空阀门

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种真空阀门，包括门板部，传动部和支架部。门板部包括门板、门板固定杆、门板固定连接块和门板轴杆连接件。传动部包括所述传动部包括传动轴、传动轴套筒、支架套筒、升降滑轨、弹性部件、连接凸轮、连接凸轮连接件和气缸。支架部包括整体气动支架、气缸支架，所述气缸支架还包括气缸侧边支架、气缸U型支架和气缸上端支架。整个传动部安装在支架部上，传动部的上端和门板部固定连接。本实用新型结构简易，维修方便，不易产生污染。发生故障时可以锁定装置，保护产品和人身安全。

基本信息

专利标题：

一种真空阀门

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020026135.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-07

授权号：

CN212155868U

授权日：

2020-12-15

发明人：

廖海涛孙文彬

申请人：

无锡市邑勉微电子有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801

代理机构：

常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

金辉

优先权：

CN202020026135.6

主分类号：

F16K3/18

IPC分类号：

F16K3/18 F16K3/314 F16K31/16 F16K31/524 F16K51/02