固态射频电源输出保护装置
授权
摘要
固态射频电源输出保护装置,包括固态射频电源(1)、反向功率检测系统(2)、匹配负载(3)和硬件控制系统(4)；通过反向功率检测系统2的定向耦合器21对固态射频电源1输出反射功率大小进行监测，同时将检测信号大小反馈给主控系统，或者由硬件控制系统4进行保护，当反射功率超过一定值时，由保护系统发出一个控制信号，直接硬件关闭电源工作系统。由定向耦合器和硬件控制系统对ICP固态射频电源进行保护控制。自动匹配阻抗，功率调谐自动化，射频功率和设备温度实时显示，对固态电源输出状态进行实时监测，频率稳定，体积小，高效保护安全节能。
基本信息
专利标题 ：
固态射频电源输出保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020045405.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-09
授权号 ：
CN211209680U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
叶辉吴华华谢道祥何艳芬
申请人 ：
上海美析仪器有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区奉浦大道1599号第一幢2-56
代理机构 ：
上海申新律师事务所
代理人 ：
郭春远
优先权 ：
CN202020045405.8
主分类号 ：
H03K3/02
IPC分类号 ：
H03K3/02
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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