一种节流气浮轴承及基于多孔质气浮轴承的快轴伺服装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种节流气浮轴承，包括相互适配的轴承基座，在轴承基座上用于与气浮导轨适配的内表面上设有多孔质节流层；沿进气方向上，多孔质节流层的气体流通阻力逐渐增大。进一步提供了一种基于多孔质气浮轴承的快轴伺服装置，包括气浮导轨、电机和刀架；节流气浮轴承套接在气浮导轨上，且通过安装基座定位；所述气浮导轨的一端与电机输出端连接、另一端安装刀架。本实用新型提供节流气浮轴承具有较大的刚度，进而利于获得一种刚度高、行程大的高频响高精度快刀伺服系统，从而提高大起伏微结构或自由曲面光学元件的加工效率与精度。

基本信息

专利标题：

一种节流气浮轴承及基于多孔质气浮轴承的快轴伺服装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020051241.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-10

授权号：

CN212429525U

授权日：

2021-01-29

发明人：

冯艳冰郑越青崔海龙李星占魏巍陈刚利黄小津

申请人：

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

申请人地址：

四川省绵阳市绵山路64号

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

胡晓丽

优先权：

CN202020051241.X

主分类号：

F16C32/06

IPC分类号：

F16C32/06 H02K7/08 B23Q5/027