原子力显微镜
授权
摘要
本实用新型公开一种原子力显微镜，该显微镜包含有一光发射器、一聚光透镜、一检测件、及一光检测装置。光发射器能朝向所述聚光透镜发出一光线，以使光线穿过聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在光线穿过聚光透镜后于检测件反射，而后能被光检测装置接收。检测件能检测一待测物的表面轮廓，并且光检测装置能在接收光线后产生相对应的电流值，进而使原子力显微镜能呈现待测物的表面轮廓。因此，本实用新型的原子力显微镜能有效地缩小其体积、缩小光线的光路所涵盖的空间以使光路不容易受环境影响、并且还能简单化光检测装置的计算系统。
基本信息
专利标题 ：
原子力显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020055141.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-10
授权号 ：
CN211652932U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
郑仲翔王伟珉廖国富
申请人 ：
精浚科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘彬
优先权 ：
CN202020055141.4
主分类号 ：
G01Q60/24
IPC分类号 ：
G01Q60/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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