一种加热装置和镀膜设备
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种加热装置和镀膜设备，包括：加热腔体、悬臂管、石墨舟、第一加热件和第二加热件；悬臂管设置在加热腔体的内部，且与加热腔体的内表面间隔预设距离；石墨舟设置在所述悬臂管上；第一加热件设置在所述悬臂管内；第二加热件设置在加热腔体的表面；加热装置通过第一加热件对石墨舟底部进行加热，通过第二加热件对所述加热腔体进行加热。本实用新型实施例中，由于所述悬臂管与加热腔体的内表面之间间隔设置，故碎硅片不会覆盖在悬臂管的外表面，从而避免了对石墨舟底部的加热不均匀；再者，由于利用悬臂管中的第一加热件直接对石墨舟进行加热，相比现有技术中利用辅助加热管的方式，能够提高所述加热装置的加热效率。
基本信息
专利标题 ：
一种加热装置和镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020074649.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-14
授权号 ：
CN211848134U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
赵赞良赵永涛
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区文萃南街战略新兴材料加工区8号206室
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
莎日娜
优先权 ：
CN202020074649.9
主分类号 ：
C23C16/46
IPC分类号 ：
C23C16/46 C23C16/458 C23C16/513
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/46
以加热基体的方法为特征的
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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