一种具有在线监控功能的超声波清洗装备
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有在线监控功能的超声波清洗装备，至少包括两套清洗设备和一套干燥设备；所述清洗设备包括清洗槽和储液槽，在清洗槽和储液槽之间设置有进液管道和出液管道，在进液管道上设置有进液泵，在出液管道上设置有过滤装置和液体检测装置；所述干燥设备包括干燥腔体和加热腔体，在干燥腔体上设置有湿度传感器。本实用新型可在线监测与跟踪清洗工作液的参数及干燥腔体的湿度数据，提高镀膜工件的清洗和干燥效率。
基本信息
专利标题 ：
一种具有在线监控功能的超声波清洗装备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020081610.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-15
授权号 ：
CN212821462U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
郭锦龙刘会萍程云立马华付久龙
申请人 ：
长钛工程技术研究院（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市石景山区石景山路54号院6号楼6层601-9
代理机构 ：
北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨华
优先权 ：
CN202020081610.X
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B3/10 B08B3/14 F26B21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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