一种硅产品加工装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅产品加工装置，包括石英定盘、导气管和真空发生装置，所述的石英定盘上开设有排气孔，所述的真空发生装置通过所述的导气管与所述的排气孔的一端连接；优点是高效、稳定，有利于提高加工精度。
基本信息
专利标题 ：
一种硅产品加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020087602.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-15
授权号 ：
CN211728889U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
徐宏飞
申请人 ：
宁波云德半导体材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋
代理机构 ：
宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
程晓明
优先权 ：
CN202020087602.6
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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