一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置，包括平移平板，平移平板下表面贴合滑块，滑块和平移平板通过第一螺钉固定装配，滑块下表面贴合滑轨，滑轨下表面贴合支撑底架，支撑底架和滑轨通过第二螺钉固定装配，支撑底架下表面固定安装定位块，支撑底架下表面开设导滑孔，导滑孔内壁滑动装配旋转装置，平移平板右侧壁贴合基片，通过精简结构零件可降低制造成本和降低操作繁琐性的效果，本实用新型与现有定位对中装置相比，操作简便、成本低廉的有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种用于旋涂设备的圆心定位辅助装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020088968.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN211427041U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
冀然
申请人 ：
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区长城路89号青岛博士创业园21A号楼407、408室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020088968.5
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G03F7/16
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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