一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置，包括腔体、腔体内制冷装置、腔体外冷却装置、控制显示装置及样品固定装置，所述腔体内制冷装置包括支撑柱及设置在支撑柱上的S型紫铜盘管，所述腔体外冷却装置包括氮气罐、液氮罐、紫铜盘管及紫铜管，所述紫铜盘管设置在液氮罐内，且与氮气罐之间通过连接管道相连通，所述紫铜盘管与S型紫铜盘管之间通过紫铜管连通。本实用新型的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对加工温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
基本信息
专利标题 ：
一种基于液氮制冷的升降温便携式样品台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020097176.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-16
授权号 ：
CN211284527U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
马毅吴伊帆谢续友黄先伟俞越翎张泰华
申请人 ：
浙江工业大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市下城区朝晖六区
代理机构 ：
杭州浙科专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴秉中
优先权 ：
CN202020097176.4
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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