一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台
授权
摘要
本实用新型属于半导体测试技术领域，尤其涉及一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台，包括底座、针座平台、载物台、探针座和显微镜，针座平台开设通孔，载物台对应设置于针座平台开设的通孔处，探针座安装于针座平台上，且环绕针座平台开设的通孔设置，显微镜通过龙门架安装于底座上，并置于针座平台的上方，载物台和显微镜均安装在XY轴位平移台上，载物台通过XY轴位平移台可以快速调节被测半导体器件的位置，以及更换被测半导体器件；显微镜通过XY轴位平移台可以快速调节显微镜与被测半导体器件之间的距离，找到合适的焦距，以及更换物镜，大大提升半导体器件的检测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种具有气动快速调节载物台和显微镜的探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020106803.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-17
授权号 ：
CN211318868U
授权日 ：
2020-08-21
发明人 ：
肖体春
申请人 ：
深圳市森东宝科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区丽荣路5号伟华达工业园E栋801
代理机构 ：
深圳市中兴达专利代理有限公司
代理人 ：
林丽明
优先权 ：
CN202020106803.6
主分类号 ：
G02B21/24
IPC分类号 ：
G02B21/24 G02B21/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
G02B21/24
底座结构
法律状态
2020-08-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
