一种具有湿度调节功能的曝光机
授权
摘要

本实用新型公开了一种具有湿度调节功能的曝光机,解决了现有的曝光机,在进行曝光作业时,由于内部湿度和温度无法快速的进行调节,易导致曝光品质不合格的问题,其包括机体,所述机体前端一侧铰接有门板,机体上部前端位于门板外侧固定有测量仪,机体内部位于门板后端开设有曝光室,机体外部一侧固定有工作台,机体和曝光室内部之间固定有湿度组件,机体和曝光室位于湿度组件底端固定有温度组件;本实用新型结构简单,通过湿度组件可以有效的调整曝光机内部的湿度值,保证曝光机能够在恒定的环境进行曝光作业,通过温度组件则能降低曝光机在工作时过高的温度,保证装置内部结构正常使用。

基本信息
专利标题 :
一种具有湿度调节功能的曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020123428.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-20
授权号 :
CN211348994U
授权日 :
2020-08-25
发明人 :
袁强刘长征
申请人 :
龙岩海圣科技有限公司
申请人地址 :
福建省龙岩市武平县岩前镇高新园区东路20号
代理机构 :
东莞合方知识产权代理有限公司
代理人 :
梁洪文
优先权 :
CN202020123428.6
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-08-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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