一种极紫外光刻用光纤
授权
摘要
本实用新型涉及一种极紫外光刻用光纤，属于紫外光刻的技术领域，该极紫外光刻用光纤包括光纤以及包裹在光纤外壁上的保护套，所述光纤的一端连接有若干根输入光纤，所述光纤的另一端连接有输出光纤，所述输出光纤上螺纹连接有夹头，所述输入光纤的外壁上由外至内依次包裹有防断弹簧套以及硅胶防护层，所述防断弹簧套远离保护套的一端包覆有硅橡胶层；由于防断弹簧套具有良好的硬性，硅胶防护层具有良好的回弹性，利用防断弹簧套以及硅胶防护层保证输入光纤不易弯折；利用具有良好回弹性的硅橡胶层，保证防断弹簧套远离保护套的一端不易弯折，从而保证光纤的抗弯曲性能。
基本信息
专利标题 ：
一种极紫外光刻用光纤
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020124753.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-19
授权号 ：
CN211348790U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
汪会梅徐剑林间
申请人 ：
南京盛略科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市雨花台区凤集大道15号6幢C区03栋104、204室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020124753.4
主分类号 ：
G02B6/44
IPC分类号 ：
G02B6/44 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/44
用于为光导纤维提供抗拉强度和外部保护的机械结构，例如，光学传输电缆
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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