一种晶圆撕胶废膜回收装置

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摘要

本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种晶圆撕胶废膜回收装置，包括竖直设置的安装基板，安装基板上可转动地设置有放料轴，放料轴上安装有胶带料盘，导向辊组下方对应设置有驱动晶圆工作台移动的驱动机构，胶带料盘放出的胶带经过导向辊组导向后与晶圆相接触，与晶圆相接触的胶带最后卷绕到收料筒上，所述安装基板背面对应收料筒竖直设置有驱动气缸，驱动气缸的活塞杆伸出端铰接有摆动杆，摆动杆端部连接有压杆轴，压杆轴向前穿过安装基板，位于安装基板前面的压杆轴上套设有压杆，压杆与收料筒相对应设置，压杆上设置有位置传感器；所述安装基板正面设置有控制驱动气缸的控制开关。本实用新型能够对撕下来的废胶膜进行清理回收。

基本信息

专利标题：

一种晶圆撕胶废膜回收装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020136736.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-21

授权号：

CN211766866U

授权日：

2020-10-27

发明人：

陈志远聂伟孟强徐学飞王坤苏杨生

申请人：

江苏汇成光电有限公司

申请人地址：

江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司

代理人：

王峰

优先权：

CN202020136736.2

主分类号：

B65B69/00

IPC分类号：

B65B69/00 B65H18/10 B65H20/02