一种LPCVD炉真空泵防返气工装
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
一种LPCVD炉真空泵防返气工装，涉及半导体材料生产技术领域，包括一球形空心连接件，连接件的上下端设有接口，连接件的中心位置放置有橡胶圆球，连接件靠近上端接口的内壁上设有4个凸出柱，4个凸出柱均匀分布于同一个水平的圆周上。本实用新型有益效果：本实用新型结构简单、设计合理、操作方便，克服了外界气体进入炉腔沾污产品的问题，保证了炉腔的洁净度，进而保证了产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种LPCVD炉真空泵防返气工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020137598.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211648404U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
张天鹏李艳巧李鲁董开纪
申请人 ：
麦斯克电子材料有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 ：
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈佳丽
优先权 ：
CN202020137598.X
主分类号 ：
F04B39/10
IPC分类号 ：
F04B39/10 F04B39/14 F04B37/14 H01L21/67 F27D7/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B39/00
不包含在F04B 25/00至F04B 37/00组中或与上述组无关的专门适用于弹性流体的泵或泵送系统的零件、部件或附件
F04B39/10
配流元件的应用或配置
法律状态
2020-11-03 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : F04B 39/10
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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