一种工艺舟隔热装置
授权
摘要
一种工艺舟隔热装置，包括水冷壁以及水路；所述水冷壁设置于净化台的内部；所述水路设置于水冷壁中；本实用新型通过在桨的出舟路径两侧加水冷壁，在出桨的5～15分种的时间内，由水冷壁吸收走高温桨、舟托、石英花篮、硅片的大量热量；出桨时，桨、舟托、硅片的温度最高，此刻集中吸收这段时间的大量热量；减少这大量热量辐射、对流到净化台内部，减小了净化台的散热难度。
基本信息
专利标题 ：
一种工艺舟隔热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020139171.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211700202U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
张武庞爱锁林佳继刘群朱太荣林依婷
申请人 ：
深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号
代理机构 ：
杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董世博
优先权 ：
CN202020139171.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/673 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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