一种新型真空反应室
授权
摘要
本实用新型提一种新型真空反应室，包括反应室封头以及反应室管道,反应室封头焊接固定在反应室管道顶部，反应室管道下端焊接有反应室水套法兰，反应室水套法兰内部通循环冷却水，反应室水套法兰上焊接有水隔板，反应室水套法兰顶部焊接有八个加强支撑块，八个加强支撑块内侧焊接加强套管，加强套管内壁包裹着反应室管道，反应室水套法兰侧面焊接有进出水嘴，进出水嘴与进出水锁紧螺母连接在一起，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现了给真空反应室增加了承受力能力，在高温高真空状态下能够长时间的使用不变形，大大增加了真空反应室的寿命，节约了成本，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种新型真空反应室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020139785.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211800678U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
刘洋李帅朱玉盼
申请人 ：
青岛精诚华旗微电子设备有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020139785.1
主分类号 ：
B01J3/03
IPC分类号 ：
B01J3/03
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J3/00
利用低于或高于大气压力使物质发生化学或物理变化的方法；其有关设备
B01J3/03
带有专用的封闭结构或密封的压力容器或真空容器
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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