一种气体排污管
授权
摘要
本实用新型公开了一种气体排污管，包括内管和外管，内管套在外管的内部，且内管与外管之间留有一定的间隙，该间隙用于通入加热的氮气；内管的侧壁设置有通孔，该通孔沿内管的侧壁的圆周方向和长度方向分别设置为多个，该通孔用于将内管与外管之间的加热的氮气通入到内管中；外管还设置有进气口，进气口连接有进气管。内管与外管之间加热的氮气经通孔进入到内管中，加热的氮气可以对内管加热，使污染气体在内管中不易沉积在内管的内壁上；氮气又可以在真空作用下吹扫内管的侧壁，减小污染气体在内管的内壁上沉积的概率，减少了排污管侧壁上的残留物，增大了MTBC(平均清洁时距)，节省了人力和物力。
基本信息
专利标题 ：
一种气体排污管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020175304.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-17
授权号 ：
CN211951853U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
祁丹丹
申请人 ：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市黄岛区中德生态园团结路2877号ICIC办公楼4楼
代理机构 ：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈敏
优先权 ：
CN202020175304.2
主分类号 ：
F16L53/32
IPC分类号 ：
F16L53/32 F16L55/24 B08B17/02
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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