一种自动寻参读码设备
授权
摘要
本实用新型提供一种自动寻参读码设备，包括晶圆装卸装置，用于放置晶圆传递盒和晶圆盒；机器人装置，用于晶圆的抓取和传递；寻参读码装置，用于读取晶圆的相关信息及寻参考边；晶圆装卸装置与寻参读码装置通过机器人装置连通，将晶圆装卸装置上的晶圆传递盒中的晶圆取出，并放置于寻参读码装置上，经寻参读码后，将晶圆放置于晶圆盒上，进行倒篮搬运。本实用新型的有益效果是能够实现自动并准确寻找参考边、读取打标号与搬运倒篮，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少劳动强度，降低人工成本。
基本信息
专利标题 ：
一种自动寻参读码设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020177844.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-17
授权号 ：
CN211920126U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
李伦张淳孙晨光王聚安王彦君
申请人 ：
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN202020177844.4
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91 B65G47/74 G06K17/00 G06K7/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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