半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管
授权
摘要
本实用新型涉及半导体制作设备领域，半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管，其中第一连接端盘和第二连接端盘轴心处均具有安装孔，第一连接端盘通过安装孔套装在导向管外环面，且第一连接端盘与导向管间隙配合，第二连接端盘通过安装孔固定的安装在导向管第一端部，且导向管轴心与第二连接端盘主延展面相互垂直，波纹管段位于套装在导向管外部且位于第一连接端盘和第二连接端盘之间，波纹管两端分别固定连接第一连接端盘和第二连接端盘的端面，且在自由状态下导向管和波纹管段同轴心设置。本波纹管具有高温环境下使用寿命长、耐腐蚀、动作导向性好的特点，方便波纹管安装对接。
基本信息
专利标题 ：
半导体制作设备电磁加热盘专用焊接波纹管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020197748.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-21
授权号 ：
CN211509325U
授权日 ：
2020-09-15
发明人 ：
张九朋肖雅婷
申请人 ：
辽宁希泰科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省营口市老边区康意街17号
代理机构 ：
沈阳易通专利事务所
代理人 ：
王建男
优先权 ：
CN202020197748.6
主分类号 ：
H05B6/10
IPC分类号 ：
H05B6/10
法律状态
2020-09-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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