加热设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种加热设备。该加热设备包括：腔体；加热部，包括设置于所述腔体内的至少一层主加热模块和设置于所述腔体至少一个内壁上的多个补偿加热模块，所述主加热模块包括多个线状的加热单元，所述补偿加热模块呈块状；多个测温部，分别位于所述主加热模块和所述补偿加热模块的加热区域，用于测量所述主加热模块和所述补偿加热模块的加热区域的温度；温控部，与所述多个测温部以及所述加热部连接，用于根据所述测温部测量的温度，控制所述补偿加热模块的输出功率；至少一个承载部，设置于所述腔体内，用于承载待加热结构。本实用新型提高了加热设备温度场的稳定性以及腔室温度的均匀性。

基本信息

专利标题：

加热设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020200907.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-24

授权号：

CN211267101U

授权日：

2020-08-14

发明人：

朱盛波冯圣曲参

申请人：

合肥维信诺科技有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市新站区魏武路与新蚌埠路交口西南角

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司

代理人：

范坤坤

优先权：

CN202020200907.3

主分类号：

H05B1/02

IPC分类号：

H05B1/02 H01L21/67