MEMS压力传感器装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种MEMS压力传感器装置，该装置包括传感器壳体，在传感器壳体的顶部连接有一盖板，在传感器壳体内设有一信号处理电路板，在信号处理电路板与盖板之间设有一电气连接器，电气连接器通过信号引出引脚延伸出盖板的外表面，在信号处理电路板的上表面设有一MEMS压力芯片组件，MEMS压力芯片组件与信号处理电路板之间电性连接，MEMS压力芯片用于感知外界被测介质的压力。本实用新型提出的MEMS压力传感器装置，易电路集成、结构小巧，可满足大量程的检测需求，且数据输出精度高。
基本信息
专利标题 ：
MEMS压力传感器装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020204439.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-24
授权号 ：
CN211205616U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
刘召利
申请人 ：
南京新力感电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市建邺区嘉陵江东街18号04幢2层204-39室
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
彭琰
优先权 ：
CN202020204439.7
主分类号 ：
G01L9/08
IPC分类号 ：
G01L9/08 G01L19/14 G01L19/00 B81B7/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/08
利用压电器件的
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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