一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆
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摘要
本实用新型提供一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆,该晶圆包括阵列排布的石英压电晶片,所述石英压电晶片具有一基底,所述基底一端的上表面与下表面对称设置有凹槽,所述凹槽中部设置有凸台,所述凸台的高度小于凹槽的深度。该石英压电晶片具有凹槽式双凸台晶体结构,凸台与基底边缘之间的凹槽区域形成晶片第一能陷区;凸台为晶片的主振荡区,且凸台的高度小于凹槽的深度,形成晶片的第二能陷区;所以,该石英压电晶片的凹槽式双凸台结构在晶片上形成了双重能陷效果,大幅度增加了晶片的能量闭锁效益,从而降低了整个晶片的阻抗,最终使得整个晶振具有非常好的低频物理特性。
基本信息
专利标题 :
一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020206680.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-25
授权号 :
CN211183922U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
李宗杰
申请人 :
广东惠伦晶体科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市黄江镇黄江东环路68号
代理机构 :
广东莞信律师事务所
代理人 :
钟宇宏
优先权 :
CN202020206680.3
主分类号 :
H03H9/19
IPC分类号 :
H03H9/19 H03H1/00
法律状态
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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