一种MEMS恒温差热膜式风速计
授权
摘要
本实用新型涉及一种MEMS恒温差热膜式风速计,包括:差分放大电路,具有加热电阻Rj,加热电阻Rj的阻值随温度变化而变化;恒温差控制电路,与差分放大电路相连接,恒温差控制电路具有两个测温电阻Rc1、Rc2,测温电阻Rc1和测温电阻Rc2对称设置在加热电阻Rj的两端;采集电路,与恒温差控制电路相连接,差分放大电路能够将风速信号转化为电压信号;电源电路,分别与差分放大电路、恒温差控制电路和采集电路相连接。在本实用新型的技术方案中,由于采用了MEMS工艺制造热膜及温度补偿部分,可以很好的保证了这三种电阻的温度敏感性一致,且其内部加入了一些绝缘薄膜,使得加热电阻上的热量流失较少,从而用较小的功率就能加热到指定温度点。
基本信息
专利标题 :
一种MEMS恒温差热膜式风速计
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020219146.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-27
授权号 :
CN211348306U
授权日 :
2020-08-25
发明人 :
祁安俊刘钧包坤任海富
申请人 :
华云升达(北京)气象科技有限责任公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园振兴路2号院1号楼1至8层101内4层401-415
代理机构 :
北京崇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
任小燕
优先权 :
CN202020219146.6
主分类号 :
G01P5/12
IPC分类号 :
G01P5/12 G01K7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量;运动的存在或不存在的指示;运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S;核辐射速度的测量入G01T)
G01P5/00
测量流体的速度,例如空气流;测量物体相对于流体的速度,例如船、航行器的速度
G01P5/10
通过测量热变量
G01P5/12
应用加热导体的电阻变化
法律状态
2020-08-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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