一种MEMS恒温差热膜式风速计
授权
摘要
本实用新型涉及一种MEMS恒温差热膜式风速计，包括：差分放大电路，具有加热电阻Rj，加热电阻Rj的阻值随温度变化而变化；恒温差控制电路，与差分放大电路相连接，恒温差控制电路具有两个测温电阻Rc1、Rc2，测温电阻Rc1和测温电阻Rc2对称设置在加热电阻Rj的两端；采集电路，与恒温差控制电路相连接，差分放大电路能够将风速信号转化为电压信号；电源电路，分别与差分放大电路、恒温差控制电路和采集电路相连接。在本实用新型的技术方案中，由于采用了MEMS工艺制造热膜及温度补偿部分，可以很好的保证了这三种电阻的温度敏感性一致，且其内部加入了一些绝缘薄膜，使得加热电阻上的热量流失较少，从而用较小的功率就能加热到指定温度点。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS恒温差热膜式风速计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020219146.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-27
授权号 ：
CN211348306U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
祁安俊刘钧包坤任海富
申请人 ：
华云升达（北京）气象科技有限责任公司
申请人地址 ：
北京市昌平区科技园振兴路2号院1号楼1至8层101内4层401-415
代理机构 ：
北京崇智专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
任小燕
优先权 ：
CN202020219146.6
主分类号 ：
G01P5/12
IPC分类号 ：
G01P5/12 G01K7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P5/00
测量流体的速度，例如空气流；测量物体相对于流体的速度，例如船、航行器的速度
G01P5/10
通过测量热变量
G01P5/12
应用加热导体的电阻变化
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
