一种提高排气效率的排气装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种提高排气效率的排气装置，包括：槽体、设置于所述槽体上方对开设置的挡门、固定于所述挡门上的喷气机构以及与所述槽体连通的抽气机构；所述喷气机构包括第一喷气组件及与所述第一喷气组件对称设置的第二喷气组件，所述抽气机构包括连通于所述槽体一侧的第一抽气组件及与所述第一抽气组件对称设置于所述槽体另一侧的第二抽气组件。根据本实用新型，结构简单实用，喷气机构能够将氮气全面覆盖于晶圆的表面，抽气机构能够将氮气抽离于干燥槽内，喷气机构与抽气机构相结合使得干燥槽内氮气形成一循环气流，大大提高了干燥槽的干燥效率。
基本信息
专利标题 ：
一种提高排气效率的排气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020221204.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-27
授权号 ：
CN211650996U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
邓信甫庄海云王雪松陈佳炜徐铭
申请人 ：
至微半导体（上海）有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
代理机构 ：
北京沁优知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡岩岩
优先权 ：
CN202020221204.9
主分类号 ：
F26B9/06
IPC分类号 ：
F26B9/06 F26B21/14 F26B21/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B9/00
静态下或只是局部摇动干燥固体材料或制品的机器或设备；家用晾晒柜
F26B9/06
在固定的筒或室内
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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