本实用新型公开了一种苯法顺酐尾气的催化氧化处理装置，包括进气管和箱体，箱体包括等离子净化腔和光催化氧化腔，等离子净化腔内安装有等离子净化器；光催化氧化腔内安装有送气管，送气管外侧的光催化氧化腔内上下间隔安装有多块光催化网，光催化网将光催化氧化腔的内部分隔成多个隔层，每个隔层内均安装有紫外线灯，送气管上加工有多个通气孔，送气管外侧的光催化氧化腔内安装有至少2组搅拌器，搅拌器包括第一电机、转动杆、搅拌叶、滚珠轴承和活动连接组件，光催化氧化腔的顶部设置有排气管，排气管内安装有活性炭吸附剂。本装置不仅能够有效的提高废气降解的效率，保证较好的净化效果，而且可以有效的减少臭氧二次污染的产生。