一种半导体制造研磨废水回收装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体研磨废水处理技术领域，尤其是一种半导体制造研磨废水回收装置，包括研磨废水回收装置的外壳主体，所述外壳主体内设置有过滤膜纤维组件，外壳主体的侧壁与过滤膜纤维组件之间为待过滤废水存储空间，过滤膜纤维组件的顶端侧壁与外壳主体的侧壁之间为密封连接，外壳主体的内部顶端与过滤膜纤维组件的顶端之间为过滤后回收水存储空间，外壳主体的下部连通设置有污泥回收装置，本实用新型实现资源回收再利用，从而减少水资源的使用量、降低制造成本，保护了环境，避免了环境污染情况。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体制造研磨废水回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020228857.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-29
授权号 ：
CN212039386U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
苏晋苗蔡坤颖
申请人 ：
北京芯之路企业管理中心（有限合伙）
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区荣华中路22号院1号楼6层604-1
代理机构 ：
北京中企讯专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
熊亮
优先权 ：
CN202020228857.X
主分类号 ：
B01D36/04
IPC分类号 ：
B01D36/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D36/00
过滤回路或过滤器与其他分离装置的组合
B01D36/04
过滤器与沉淀箱的组合
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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