用于真空热处理的移动式三维加热装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于真空热处理的移动式三维加热装置，包括上端敞口的隔热罩，所述隔热罩的底部与驱动其上下移动的升降组件连接，其内部设有用于加热坩埚的加热组件。所述加热组件包括能抵靠到坩埚底部的电加热盘，所述电加热盘的中部设有通孔，所述通孔外侧设有若干呈圆周阵列分布在所述电加热盘上的凹槽。所述通孔与若干所述凹槽内共同设有用于加热坩埚底部的加热元件。所述电加热盘上还设有能套装到坩埚侧壁上的导热环，所述导热环的外壁上固接有若干与所述凹槽一一对应的加热竖条，若干所述加热竖条均与所述加热元件连接。本实用新型的移动式三维加热装置能够使坩埚受热更加均匀，工作效率更高。
基本信息
专利标题 ：
用于真空热处理的移动式三维加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020233756.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-02-28
授权号 ：
CN211689215U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
王宁
申请人 ：
苏州泓沵达仪器科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88-1号8209室
代理机构 ：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
许云峰
优先权 ：
CN202020233756.1
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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