一种离子源气体纯化装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子源气体纯化装置，包括离子源、导管、降温装置，所述导管的一端与离子源连通，导管的另一端用于连接供气装置，所述导管穿过降温装置，所述降温装置能够对导管进行减温，并且能够将导管内气体的杂质分离纯化。利用气体的沸点，凝固点的差异，通过降温装置对离子源装置供气导管进行降温，降温装置能够使导管的一段处于低温状态，当气体经过低温管路时，气体中的杂质遇冷会液化甚至固化，固化和液化后的杂质会吸附在导管管壁上，不会再随气流流动，从而降低进入离子源气体的杂质含量，提高通入离子源气体的纯度，使得离子源的阴极损耗速率降低，进而让离子源的使用寿命增长。
基本信息
专利标题 ：
一种离子源气体纯化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020234312.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-02
授权号 ：
CN211837084U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
赵良超何小中马超凡龙全红杨兴林李洪
申请人 ：
中国工程物理研究院流体物理研究所
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
成都四合天行知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯龙
优先权 ：
CN202020234312.X
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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