一种水电阻率探头的安装结构

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摘要

本实用新型涉及一种水电阻率探头的安装结构，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括U型连接接头，所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方，所述U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接，所述U型连接接头另一接口与水电阻率探头接头连接，所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。所述连接管、U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。本申请增加了水流过水电阻率探头时的流速，提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性；能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控，防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。

基本信息

专利标题：

一种水电阻率探头的安装结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020275546.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-09

授权号：

CN211555835U

授权日：

2020-09-22

发明人：

吕伟钱如平蒋亚东周晓

申请人：

江阴新顺微电子有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号

代理机构：

江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

孙燕波

优先权：

CN202020275546.9

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67