一种FAIMS离子检测器
授权
摘要
本申请公开一种FAIMS离子检测器，包括空心的反应筒，所述反应筒的内部依次分为进气口、迁移区、检测区和出气口，该检测区包括设置有多根同样直径且垂直于离子进入方向的阵列硅柱的敏感阵列，布置在敏感阵列靠近离子进入方向的一侧由多根并排且间隔设置的栅极硅柱构成的栅极层，布置在所述敏感阵列远离离子进入方向的一侧由多根并排且间隔设置的屏蔽硅柱构成的屏蔽层，及后端电路模块。本申请中采用敏感阵列的多排布置方式，可增加气体与敏感阵列的接触面积；而敏感阵列中形成的许多分散的微小气路，使得进入敏感阵列后的离子更容易与敏感硅柱发生碰撞，同时这种结构省去了驱动电极。
基本信息
专利标题 ：
一种FAIMS离子检测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020276434.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-09
授权号 ：
CN211825826U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
钟伦超龚涛宋学文田川马慧郭嘉昒
申请人 ：
清华大学深圳国际研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽镇清华大学深圳国际研究生院
代理机构 ：
北京市诚辉律师事务所
代理人 ：
范盈
优先权 ：
CN202020276434.5
主分类号 ：
G01N27/62
IPC分类号 ：
G01N27/62
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/62
通过测试气体的电离，例如气溶胶；通过测试放电，例如阴极发射
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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