一种平板颗粒度检测设备

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摘要

本实用新型公开了一种平板颗粒度检测设备包括：光源单元，用于出射检测光束；匀光单元，至少包括微透镜阵列组，位于检测光束的传输路径上，检测光束经过匀光单元后，在匀光单元的焦面处形成泰伯点阵光束；入射至待测平板上的泰伯点阵光束，经待测平板中的异物散射形成待成像光束；待成像光束携带异物的粒度信息；泰伯点阵光束中相邻两束光束之间的间距小于异物的粒度尺寸；成像单元，用于收集待成像光束并根据待成像光束对待测平板中的异物进行检测。有利于确保照射到被检测异物的光，均为多个微透镜出射的光的叠加，进而有利于保证入射至待测平板的检测光束面均匀性以及角均匀性良好，其中，角均匀性可达90％，面均匀性可达95％。

基本信息

专利标题：

一种平板颗粒度检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020301321.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-12

授权号：

CN211718046U

授权日：

2020-10-20

发明人：

申永强杨晓青韩雪山

申请人：

上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202020301321.6

主分类号：

G01N15/02

IPC分类号：

G01N15/02 G01N21/88