一种双探针的纳米测量仪器
授权
摘要

本实用新型公开了一种双探针的纳米测量仪器,包括测量器主体;所述测量器主体的前端设有第一探针、第二探针;所述第一探针用于探测外部环境干扰下的被测物体的信号;所述第二探针用于探测被测物体的附近环境的干扰信号;本实用新型的有益效果在于:本设计采用了双探针,一个探针探测外部环境干扰下的被测物体的信号,另一个探测被测物体的附近环境的干扰信号,通过计算出两个信号数值,最后两个数值相减,得到的数值就是被测物体的数值;让纳米测量系统省去了传统的封闭坏镜设备,且能够测量大型的被测物体。

基本信息
专利标题 :
一种双探针的纳米测量仪器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020314207.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-13
授权号 :
CN211477006U
授权日 :
2020-09-11
发明人 :
苏全民陈庚亮
申请人 :
深圳明锐仪器有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙飞大道333号启迪协信4栋520
代理机构 :
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 :
戴丽伟
优先权 :
CN202020314207.7
主分类号 :
G01B11/00
IPC分类号 :
G01B11/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-09-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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