一种压力传感器泄漏测试装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种压力传感器泄漏测试装置,包括台架、氦质谱检测仪和氦气源;台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位,安装台面下包括电控机柜和真空泵柜;传感器测试工位分别管路连接氦质谱检测仪、氦气源和真空泵柜;电控机柜电连接传感器测试工位、真空泵柜、氦质谱检测仪和氦气源。待检测压力传感器放置于传感器检测工位上,氦气源向传感器检测工位中注入氦气,真空泵柜对传感器检测工位进行抽真空,使得待检测压力传感器两侧形成压力差,并利用氦质谱仪检测待检测传感器抽真空一侧是否有氦气存在,如果存在,则说明待检测压力传感器存在泄漏情况。通过电控机柜同时控制若干个传感器检测工位进行检测,提高了工厂的检测效率。

基本信息
专利标题 :
一种压力传感器泄漏测试装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020314690.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-14
授权号 :
CN212513507U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
陈石煤
申请人 :
深圳聚德寿科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区深圳湾科技生态园12栋B座裙楼535
代理机构 :
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
符继超
优先权 :
CN202020314690.9
主分类号 :
G01M3/20
IPC分类号 :
G01M3/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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