一种可微调的真空腔体内喷气装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种可微调的真空腔体内喷气装置，包括有气体管道支撑，气体管道支撑内设置有气体管道，气体管道支撑的前端部安装有用于与真空腔体连接的安装法兰，气体管道由真空外管道和真空内管道组成，真空内管道位于气体管道支撑内，真空内管道的出气端安装有喷嘴管道，喷嘴管道的前端安装有喷嘴头，喷嘴头上分布有喷嘴小孔，真空外管道安装在用于连接真空腔体的安装法兰上且位于外侧，气体管道包括有抽真空支路和微调支路，所述抽真空支路上安装有抽真空阀，所述微调支路上安装有微调阀。本实用新型结构设计合理，可以精确的控制进入到真空内管道内的气流量，避免气流量过大会对腔体产生污染或直接造成破空现象。
基本信息
专利标题 ：
一种可微调的真空腔体内喷气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020324481.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN211738631U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
刘娜
申请人 ：
安徽卓凌机电技术有限责任公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区繁华大道南九龙路西东湖高新合肥创新中心13栋403室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020324481.2
主分类号 ：
F17C7/00
IPC分类号 ：
F17C7/00 F17C13/04 F17C13/00 F17D1/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器；固定容量的贮气罐；将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内，或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器；固定容量的贮气罐；将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内，或从容器内排出
F17C7/00
从压力容器内排放液化、固化或压缩气体的其他小类内不包含的方法或设备
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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