一种超高真空腔体快速液氮冷却组件

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摘要

本实用新型公开了一种超高真空腔体快速液氮冷却组件，包括有液氮输送管，液氮输送管外套装有抽真空管，抽真空管的下端部外侧套装有液氮保护管一，液氮保护管一的上端部安装有用于连接到腔体或超过真空装置上的连接法兰，液氮保护管一通过连接法兰连接后位于腔体或超过真空装置外的液氮保护管二上设有抽真空支路，抽真空支路的进气端口与抽真空管连接，抽真空支路上安装有抽真空阀，抽真空管上方的液氮输送管位于液氮保护管三内，且液氮输送管的端部伸出液氮保护管三且设有进液氮接头。本实用新型实现了对内置液氮输送管保护的作用，而且通过液氮保护管一的结构，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，避免出现漏气现象。

基本信息

专利标题：

一种超高真空腔体快速液氮冷却组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020324482.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-16

授权号：

CN211738651U

授权日：

2020-10-23

发明人：

刘娜鲍美玲陈加通刘鑫杜劲松

申请人：

安徽卓凌机电技术有限责任公司

申请人地址：

安徽省合肥市经济技术开发区繁华大道南九龙路西东湖高新合肥创新中心13栋403室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020324482.7

主分类号：

F17D1/02

IPC分类号：

F17D1/02 F17D3/01 F16L23/024 F16L59/02