MWT激光打孔间距精度测量装置
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摘要

本实用新型公布了一种 MWT激光打孔间距精度测量装置,所述精度测量装置包括框架、皮带、面阵相机,所述框架自上而下包括顶部、中部和底部,所述底部设有皮带,所述皮带用于运载打孔硅片;在所述顶部设有面阵相机,所述皮带将载打孔硅片传送到面阵相机正下方时停止。通过该测量装置能够可有效地检出激光打孔后的不良硅片,从而实现对未打孔片、打孔位置偏移和打孔间距超出误差范围的硅片进行识别,提高后续加工的精度。

基本信息
专利标题 :
MWT激光打孔间距精度测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020324650.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-16
授权号 :
CN212916613U
授权日 :
2021-04-09
发明人 :
裴善水商其华孙明亮吴仕梁张凤鸣
申请人 :
江苏日托光伏科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区锡士路20号
代理机构 :
江苏圣典律师事务所
代理人 :
贺翔
优先权 :
CN202020324650.2
主分类号 :
B07C5/02
IPC分类号 :
B07C5/02  B07C5/342  B07C5/36  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B07
将固体从固体中分离;分选
B07C
邮件分拣;单件物品的分选,或适于一件一件地分选的散装材料的分选,如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选,例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制;用手动装置,例如开关,来分选
B07C5/02
分选前的措施,例如在流水线中排列物体,定方位
法律状态
2021-04-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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