一种排气取样装置及湿法清洗机
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摘要

本实用新型提供了一种排气取样装置及湿法清洗机,其中所述排气取样装置,包括取样管,所述取样管具有相对的取样端和排气端,所述取样端位于湿法清洗机的排气管内并对所述排气管内的排气进行取样,所述取样端包括呈一定夹角的第一管路和第二管路,所述第二管路的一端与所述排气端的一端连接,所述第二管路的另一端与所述第一管路的一端连接,所述第一管路的另一端朝向所述排气管内的排气方向。本实用新型通过将所述第一管路设置成朝向湿法清洗机的排气管内的排气方向以减少取样端的端口处酸性、碱性气体形成的结晶量,保证取样端对排气气体的取样顺畅,从而降低机台发出排气低报警的频率,增加机台运转时间,进而提高机台工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种排气取样装置及湿法清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020328502.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-16
授权号 :
CN211927419U
授权日 :
2020-11-13
发明人 :
蒋峥勇
申请人 :
上海华力微电子有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN202020328502.8
主分类号 :
G01N1/22
IPC分类号 :
G01N1/22  G01L19/12  H01L21/67  B08B9/032  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/02
取样装置
G01N1/22
气体的
法律状态
2020-11-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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