腐蚀机反应装置及腐蚀机
授权
摘要
本申请实施例提供一种腐蚀机反应装置及腐蚀机，详细地，本申请中，在腐蚀机的腐蚀液喷嘴下方设置遮挡部，可以在腐蚀机的旋转主轴带动夹盘旋转对夹盘上放置的待腐蚀物进行腐蚀时，阻挡腐蚀液漏入穿杆螺栓。如此，能够有效解决由于反应腔漏液导致备件寿命减少的情况，从而减少维修保养频次，降低维修费用，提升生产产能。
基本信息
专利标题 ：
腐蚀机反应装置及腐蚀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020336286.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-17
授权号 ：
CN211455657U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
黄国民
申请人 ：
吉林麦吉柯半导体有限公司
申请人地址 ：
吉林省吉林市高新区深圳街99号
代理机构 ：
成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐维虎
优先权 ：
CN202020336286.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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