MOCVD尾管免拆清理装置
授权
摘要
本实用新型揭示了一种MOCVD尾管免拆清理装置，包括前端清理组件及尾端连接组件两部分，前端清洁组件包括一根前端线缆，前端线缆的一侧端部固定设置有清扫器件、前端线缆的另一端与尾端线缆的端部相连接，前端清洁组件还包括固定设置于前端线缆外周侧、用于使装置整体在MOCVD尾管内部沿管路延伸方向活动的移动器件。本实用新型采用物理毛刷电动旋转清扫的方式完成了对长尾管型MOCVD尾管的清洁维护，装置整体可以直接伸入MOCVD尾管中，在进行周期性维护时无需再对管道进行频繁拆卸，避免了因管道内部高活性颗粒物接触空气而引发的爆燃事故，提高了维护的安全性。
基本信息
专利标题 ：
MOCVD尾管免拆清理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020341520.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-18
授权号 ：
CN212733411U
授权日 ：
2021-03-19
发明人 ：
刘银南琦
申请人 ：
木昇半导体科技（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼2301-12
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
姚姣阳
优先权 ：
CN202020341520.X
主分类号 ：
B08B9/045
IPC分类号 ：
B08B9/045 B08B9/047
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面；去除堵塞物
B08B9/04
靠放入管道内并沿管道移动的清洁装置
B08B9/043
靠外力机械联动而移动，例如，靠推力或拉力通过管道
B08B9/045
清洁装置边移动边旋转
法律状态
2021-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
