中转装置及烘干设备
授权
摘要

本申请公开了一种中转装置,其包括设置于处理箱内的、能够自下而上输送基板的第一传送机构以及能够自上而下输送基板第二传送机构;由此,基板在处理箱内能够经由第一传送机构和第二传送机构进行两次传送;一方面,通过第一传送机构和第二传送机构的两次传递,能够延长基板在处理箱内的停留时间,另一方面,通过第一传送机构和第二传送机构的反向传递,能够使得基板回到上料的底部或者顶部,方便基板进出。本申请还提供了一种烘干设备,其包括上述中转装置,通过加热组件能够对处理箱内进行加热;通过第一抽气组件,能够对处理箱内进行抽气,进而加速处理箱内气流流通;由此,提高烘干效率,并保证处理箱内温度稳定、确保烘干效果。

基本信息
专利标题 :
中转装置及烘干设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020342637.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-18
授权号 :
CN212058211U
授权日 :
2020-12-01
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市无锡高新技术产业开发区新洲路18号先导二厂
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020342637.X
主分类号 :
F26B25/00
IPC分类号 :
F26B25/00  F26B15/20  F26B21/00  F26B21/04  F26B25/02  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B25/00
不包含F26B 21/00或F26B 23/00组中的一般应用部件
法律状态
2020-12-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332