本实用新型涉及抽真空设备技术领域，尤其是一种三级混合气冷罗茨真空机组，罗茨泵包括依次连接的一级泵、二级泵和三级泵，二级泵和三级泵上均设有排气口和冷气返气口，冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，二级泵排气口通过二级排气管道连接二级冷凝器壳程后通过二级返气管道分别连接至二级泵和三级泵冷气返气口，三级泵排气口通过三级排气管道连接至三级冷凝器壳程后通过三级返气管道分别连接至三级泵第二冷气返气口和二级排气管道，三级返气管道与二级排气管道之间安装阀门。初始时三个泵体同时排气，二级泵和三级泵并联排气，增大排气量，缩短真空时间；当进气口达到一定真空度后，逆止阀关闭，三个泵体串联排气，提高真空度，节约能源。