一种全自动晶圆研磨机用夹持机构
授权
摘要

本实用新型公开了一种全自动晶圆研磨机用夹持机构,属于晶圆生产设备领域,一种全自动晶圆研磨机用夹持机构,包括研磨机本体和两个伸缩气缸,两个伸缩气缸对称设置,两个伸缩气缸的输出端均固定连接有调节块,调节块为中空结构,每个调节块的两端均开设有安装腔,且安装腔内转动连接有丝杠,每个丝杠的一端均贯穿安装腔的内壁并延伸至外部设置,每个丝杠上均螺纹连接有多个螺母,它可以实现对不同直径大小晶圆的夹持,通过转动丝杠来调节相邻两个夹板之间的距离,而四个夹板的形状为四分之一圆,因此刚好可以围城一个圆,从而实现对不同直径晶圆的夹持,另外利用止动板的摩擦力实现对丝杠的固定,防止其随意转动而造成夹板松弛。

基本信息
专利标题 :
一种全自动晶圆研磨机用夹持机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020357697.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-20
授权号 :
CN212044174U
授权日 :
2020-12-01
发明人 :
乔金彪
申请人 :
苏州斯尔特微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区通安镇华金路225号
代理机构 :
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
潘志渊
优先权 :
CN202020357697.9
主分类号 :
B24B37/27
IPC分类号 :
B24B37/27  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/27
工件载体
法律状态
2020-12-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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