一种方便更换研磨头的全自动晶圆研磨机
授权
摘要
本实用新型公开了一种方便更换研磨头的全自动晶圆研磨机,属于晶圆生产设备领域,一种方便更换研磨头的全自动晶圆研磨机,包括研磨机本体,研磨机上安装有驱动轴,驱动轴的下端开设有安装槽,且安装槽中插设有研磨头,驱动轴的外侧壁螺纹连接有紧套管,安装槽的两侧均插设有横向设置的定位杆,且定位杆的外端与紧套管的内壁相抵,它可以实现对研磨头的快速拆卸、安装,方便更换研磨头,通过斜面的挤压使紧套管将定位杆压进定位槽中,实现对研磨头的固定,同时利用弹簧的弹力来连接定位杆,这样当紧套管的挤压力小时候,定位杆可被弹出来,从而实现研磨头的快速拆卸,必不需要借助任何工具,操作极为简单、便捷。
基本信息
专利标题 :
一种方便更换研磨头的全自动晶圆研磨机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020357811.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-20
授权号 :
CN212044175U
授权日 :
2020-12-01
发明人 :
乔金彪
申请人 :
苏州斯尔特微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区通安镇华金路225号
代理机构 :
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
潘志渊
优先权 :
CN202020357811.8
主分类号 :
B24B37/34
IPC分类号 :
B24B37/34 B24B37/04 B24B37/11 B24B41/04 B24B45/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-12-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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