基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置

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摘要

本实用新型公开了一种基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置，包括有分别朝向被测样品表面的泵浦光源、探测光源、光电探测器和波长可调谐光源，波长可调谐光源和被测样品之间顺次设置有可调谐光源分束装置、可调谐光源聚焦装置、光束准直装置和参考镜，干涉光聚焦装置朝向可调谐光源分束装置，从参考镜表面和被测样品表面反射回去的光发生干涉，干涉光依次通过光束准直装置、可调谐光源聚焦装置、可调谐光源分束装置、干涉光聚焦装置后进入干涉光强探测装置。本实用新型把波长移相干涉方法和光诱导表面热变形方法相结合，能够实现材料由于吸收光能量所引起的表面热变形量的定量检测标定，且测量过程简单快速，易于推广。

基本信息

专利标题：

基于波长移相干涉的光热表面变形检测标定装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020377220.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-23

授权号：

CN211576103U

授权日：

2020-09-25

发明人：

陈坚吴周令李文彩黄明

申请人：

合肥知常光电科技有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市高新区望江西路800号创新产业园C4楼208室

代理机构：

合肥天明专利事务所(普通合伙)

代理人：

韩燕

优先权：

CN202020377220.7

主分类号：

G01B11/16

IPC分类号：

G01B11/16