曝光数据的光学补偿以及整体涨缩系统
授权
摘要
本实用新型公开了曝光数据的光学补偿以及整体涨缩系统,包括内置有光学补偿参数和整体涨缩参数输入系统的计算机设备、工作台、曝光头、驱动曝光头沿着X轴平移的X轴驱动组件、用于驱动印刷网版沿着Y轴平移的Y轴驱动组件和PLC控制器,所述计算机设备与PLC控制器的输入端通过线缆连接,所述曝光头、Y轴驱动组件、X轴驱动组件均与PLC控制器的输出端通过线缆连接,本实用新型能将待曝光在印刷网板上的数据进行尺寸涨缩,且还能进行光学补偿,实用较强,提高了曝光效率。
基本信息
专利标题 :
曝光数据的光学补偿以及整体涨缩系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020384953.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-24
授权号 :
CN212484071U
授权日 :
2021-02-05
发明人 :
郑军明
申请人 :
田菱智能科技(昆山)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市千灯镇少卿东路269号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020384953.3
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20 B41C1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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